Nitrogen Trifluoride (NF3) High Purity Gas
Pangunahing Impormasyon
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Ano ang materyal na ito?
Ang nitrogen trifluoride (NF3) ay isang walang kulay at walang amoy na gas sa temperatura ng silid at presyon ng atmospera. Maaari itong matunaw sa ilalim ng katamtamang presyon. Ang NF3 ay matatag sa ilalim ng normal na mga kondisyon at hindi madaling mabulok. Gayunpaman, maaari itong mabulok kapag nalantad sa mataas na temperatura o sa pagkakaroon ng ilang mga catalyst. Ang NF3 ay may mataas na global warming potential (GWP) kapag inilabas sa atmospera.
Saan gagamitin ang materyal na ito?
Cleaning agent sa industriya ng electronics: Ang NF3 ay malawakang ginagamit bilang cleaning agent para sa pag-alis ng mga natitirang contaminant, tulad ng mga oxide, mula sa mga surface ng semiconductors, plasma display panels (PDPs), at iba pang electronic component. Mabisa nitong linisin ang mga ibabaw na ito nang hindi nasisira ang mga ito.
Etching gas sa semiconductor fabrication: Ang NF3 ay ginagamit bilang isang etching gas sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductors. Ito ay partikular na epektibo sa pag-ukit ng silicon dioxide (SiO2) at silicon nitride (Si3N4), na karaniwang mga materyales na ginagamit sa paggawa ng mga integrated circuit.
Produksyon ng high-purity fluorine compound: Ang NF3 ay isang mahalagang pinagmumulan ng fluorine para sa paggawa ng iba't ibang mga compound na naglalaman ng fluorine. Ginagamit ito bilang pasimula sa paggawa ng mga fluoropolymer, fluorocarbon, at mga espesyal na kemikal.
Pagbuo ng plasma sa pagmamanupaktura ng flat panel display: Ginagamit ang NF3 kasama ng iba pang mga gas upang lumikha ng plasma sa paggawa ng mga flat panel display, tulad ng mga liquid crystal display (LCD) at PDP. Mahalaga ang plasma sa mga proseso ng deposition at etching sa panahon ng paggawa ng panel.
Tandaan na ang mga partikular na aplikasyon at regulasyon para sa paggamit ng materyal/produktong ito ay maaaring mag-iba ayon sa bansa, industriya at layunin. Palaging sundin ang mga alituntunin sa kaligtasan at kumunsulta sa isang eksperto bago gamitin ang materyal/produktong ito sa anumang aplikasyon.
